发布时间:2026-01-30 16:25:42 人气:7213
气流组织:
单向流(层流):用于高级别洁净区(ISO 1-5级),气流像活塞一样将污染物单向推出。分垂直和水平层流。
非单向流(乱流):用于中低级别洁净区(ISO 6-8级),通过送风稀释污染物。通过顶部FFU+高效过滤器或风机箱+高效送风口送风,侧墙下部回风。
过滤系统:采用三级过滤。
初级过滤:位于空调机组进风口,过滤较大颗粒。
中效过滤:位于空调机组内或送风管道中,保护高效过滤器。
高效过滤器(HEPA) 或 超高效过滤器(ULPA) :位于送风末端(顶棚或侧墙),是实现洁净度的关键部件。安装后必须进行检漏测试。
压差控制:
不同洁净度等级区域之间必须保持一定的静压差(一般≥10Pa),以防止低级别区域的空气向高级别区域倒流。
需通过变风量阀、余压阀、差压传感器等自动维持压差稳定。
温湿度控制:由精密空调系统保证,温湿度控制精度根据工艺要求确定(如22±2℃,50±5%)。
