无尘车间净化等级划分是依据什么？

　　(一)清洁室之等级
世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E跟世界上其它各国制订标准作介绍与彼此比较。净化等级尘粒最大允许数/立方米≥0.5μm尘粒数,500，≥5μm尘粒数0，微生物最大允许数浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，清洁室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3….依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数量字是以每破方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数量字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。净化等级尘粒最大允许数/立方米≥0.5μm尘粒数,500，≥5μm尘粒数0，微生物最大允许数浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。 清洁网z:Wg1pj
美国联邦标准FS 209D都以英制每破方英呎为单位，日本则是采取公制，即以每破方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每破方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。

　　(二)清洁室之定义
清洁室(Clean Room)，亦称为无尘室或清洁室。　「清洁室」是指将一定空间范畴内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之沾染物消除，并将室内之温度、清洁度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音振动及照明、静电把持在某一须要范畴内，而所给予特别设计之房间。亦即是不管外在之空气前提如何变更，其室内均能俱有坚持原来所设定请求之清洁度、温湿度及压力等机能之特点。
清洁室最重要之作用在于把持产品(如硅芯片等)所接触之大气的清洁度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间咱们称之为「清洁室」。
　　(三)清洁室控管之名目

　　1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。

　　2. 能避免微尘粒子之产生。

　　3. 温度跟湿度之把持。

　　4. 压力之调节。

　　5. 有害气体之消除。

　　6. 结构物与隔间之气密性。

　　7. 静电之防制。

　　8. 电磁烦扰防备。

　　9. 保险因素之考虑。

　　10. 节能之考量。净化等级尘粒最大允许数/立方米≥0.5μm尘粒数,500，≥5μm尘粒数0，微生物最大允许数浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。